檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="奈米壓痕" and ckeyword.raw="氮化鉻鋯薄膜"
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氮化鉻薄膜擁有良好的機械性質與抗氧化能力,但硬度略低於其他硬膜,實驗將鋯與矽同時加入氮化鉻薄膜中以期改善顯微結構與機械性質。研究使用反應式雙極非對稱脈衝直流磁控濺鍍法製備含鋯量自0.49 at.%到…