檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="太陽能電池" and ckeyword.raw="鈍化層"
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本研究主要利用低溫、低電漿密度的UHV-PECVD系統成長太陽能電池的i層鈍化層,其材料種類有a-Si:H、a-SiOx:H、a-SiNx:H及a-SiCONx:H,並使用金屬遮罩搭配獨立腔體聯結式…