檢索結果:共2筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="多晶矽" and ckeyword.raw="準分子雷射"
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本研究探討準分子雷射結晶化矽厚膜可行性,並以此膜製作薄膜太陽能電池。研究發現,雷射退火矽膜之最高厚度為700 nm,並出現完全溶化之碟狀結晶(Disc grain)。利用SLS法後可再室溫下產生7 …
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目前多晶矽薄膜橫向長晶製程參數研究,大多採用嘗試錯誤的方法,透過實驗室實際製程來對每一個參數進行操控,並以此來瞭解各個參數對長晶的影響。然而橫向長晶的影響參數眾多,因此這樣的方法耗力而且耗時。由於多…