檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="多層薄膜" and ckeyword.raw="氮化物"
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本研究使用高功率脈衝磁控濺射鍍膜系統,以Al4Cr2NbSiTi2高熵合金靶和TiB2靶在矽晶片與304、420不銹鋼表面鍍製六種不同雙層週期厚度的高熵合金氮化物多層薄膜,並使用場發射掃描電子顯微鏡…