檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="外差" and ckeyword.raw="雷射光學尺"
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本研究主要提出一套創新的Wollaston雷射光學尺量測系統,用以進行六自由度線性位移及旋轉角位移之精準量測。此套光學尺系統主要結合外差干涉術、光柵剪切干涉術、Wollaston prism共光程光…