檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="固相結晶" and ckeyword.raw="固相結晶"
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本研究成功利用蔽蔭遮罩圖案化製程與固相結晶法於不鏽鋼基板上製作出多晶矽薄膜電晶體,所製作的p型與n型薄膜電晶體其通道長和寬分別為25和100 μm,載子移動率分別為1.4和0 cm2/V-s,Ion…