檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="原子層磊晶" and ckeyword.raw="氮化鎵.氮化銦鎵"
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本論文的主題分為四部分:(1)利用三甲基鎵(trimethylgallium,TMG)/氨氣(NH3)為反應先驅物以原子層磊晶法(ALE)合成氮化鎵(GaN)並對其成長行為做一整體性探討;(2)探討…