檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="原子層磊晶" and ckeyword.raw="氮化銦鎵"
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本研究利用原子層磊晶(ALE)技術合成氮化鎵(GaN)及氮化銦鎵(InxGa1-xN)三元混晶膜。以二乙基一氯鎵(DEGaCl)及氨氣(NH3)作為反應原料,並選用已成長氮化鎵的藍寶石磊晶片為基材,…