檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="化學氣相沉積法" and ckeyword.raw="醋酸鋅"
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本篇論文主要研究方向在使用以醋酸鋅為蒸發源的化學氣相沉積法製作氧化鋅薄膜。以不同的氣體當載氣(氧氣和氬氣)和控制不同成長溫度來製造氧化鋅薄膜於矽基板上。薄膜分析以掃描電子顯微鏡、X光繞射譜線、拉曼散…