簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="化學機械拋光" and ckeyword.raw="拋光墊"


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    導入CMP領域知識之工程專利知識庫與專利分析檢索技術之初步研究
    • 機械工程系 /93/ 碩士
    • 研究生: 陳易宏 指導教授: 林榮慶
    • 根據世界智慧財產權組織(WIPO)統計報導,善加利用專利資訊,可以縮短研發時間60%,節省研發經費40%,專利資訊既是技術文件,也是法律文件(權力文件),根據統計,產業界的KNOW-HOW,百分之八…
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    雷射共軛焦三維表面形貌量測儀開發應用於拋光墊之碎形維度和承載比分析
    • 機械工程系 /101/ 碩士
    • 研究生: 王柏凱 指導教授: 陳炤彰 鍾俊輝
    • 本研究主要在建構用於化學機械平坦化拋光之拋光墊表面形貌分析,自行研發設計一款雷射共軛焦三維表面形貌掃描儀,並開發對拋光墊形貌分析之專用程式。主要方法為將雷射共軛焦儀架設於龍門線性馬達平台,回授平台X…
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