檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="化學機械拋光" and ckeyword.raw="單晶矽晶球"
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澳洲聯邦科學暨工業研究院與德國聯邦物理技術研究院使用 Cup-type球拋機搭配氧化鋁磨料研光和粗拋與酸性的二氧化鈦拋光液精拋製出單晶矽晶球,並在2019 成為最新的國際質量原器。本研究自行設計四旋…