檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="化學機械平坦化" and ckeyword.raw="電極設計。"
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半導體製程中昂貴複雜及無可取代之製程-化學機械拋光/平坦化(Chemical Mechanical Plolishing/Planarization, CMP),因具可有效地解決銅導線化及特徵尺寸進…