檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="化學品供應系統" and ckeyword.raw="專家系統"
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目前半導體廠之化學品供應系統的故障診斷方式通常係,工程師依據設備之警報訊息及利用本身之維修經驗進行診斷。然而人員流動率高,有經驗者培養不易,經常發生故障排除失誤或延誤的情況。本研究針對常用之化學品供…