檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="分子靜力學" and ckeyword.raw="化學機械拋光"
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摘要 本文旨在建立結合分子靜力學與變形理論,而提出分子靜力學是以莫氏力建立模擬系統,模擬CMP粒子的加工行為。本文對奈米加工參數設定方面,是利用六方最密排列的鑽石研磨粒切削完美面心立方體銅,應用二…