檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="共路徑" and ckeyword.raw="線性光學尺"
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本研究以光柵干涉術作為主要的量測基礎,提出了一套新式的微型化雙繞射共路徑式線性光學尺,其系統架構簡單,架設及校正容易,可用以進行精密的大行程位移量測。我們利用自行設計的稜鏡配合反射式光柵建構出「共路…