檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="光柵干涉儀" and ckeyword.raw="共面偵測技術"
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本研究提出一套創新的多自由度再繞射式光柵干涉儀,用以同時量測五維度位移及旋轉角度變化量。此套系統是以光柵為技術核心進行開發,同時整合外差干涉術、光柵干涉術、再繞射光路及共面偵測技術等設計之優勢,使系…