檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="光柵" and ckeyword.raw="雙繞射"
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本研究提出一套以「雙繞射」為設計概念進行系統開發的雙繞射式雷射光學尺,用以進行位移及旋轉角量測。此套雙繞射式雷射光學尺系統整合外差干涉術、光柵干涉術、雙繞射光路及分光技術等設計概念進行開發,使系統具…