檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="光柵" and ckeyword.raw="光柵干涉儀"
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本研究提出一套創新的弦波調制雙繞射光柵干涉儀,用以進行精密位移及旋轉角量測。此套干涉儀是以弦波訊號來針對WP雙折射晶體進行訊號調制,達到外差訊號調制的目的,進而降低環境低頻擾動對量測結果所造成的影響…