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以TDF-TEOS為先驅物利用電漿輔助化學氣相沈積系統製備含矽氟/碳氟鍵結的低介電係數膜與薄膜附著力之分析
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材料科學與工程系
/93/ 碩士
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研究生:
林錦川
指導教授:
洪儒生
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本論文的實驗採用分子結構類似TEOS的含碳氫氟長鏈和矽氧烷分子先驅物十三氟-1,1,2,2-四氫辛烷基-三乙氧基矽烷 (tridecafluoro-1,1,2,2-tetrahydrooctyl-t…
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