檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="二階段有機金屬化學氣相沉積" and ckeyword.raw="銅"
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本研究主要提出一種新穎的二階段化學氣相沉積(Metal-Organic Chemical Vapor Deposition)成長銅晶種層(Seed layer)於氮化鉭(TaNx)阻障層薄膜的應用之…