檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="三繞射" and ckeyword.raw="旋轉角"
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本研究提出一套以「多次繞射」為設計概念進行系統開發的「三繞射式雙光柵干涉儀」,用以進行精密位移及旋轉角度量測。此套「三繞射式雙光柵干涉儀」具備外差干涉術、光柵干涉術、三繞射式光路及共面偵測式光路等技…