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伴隨尖端科技的進步,越是高科技的產品越需要高品質的製造環境,如:半導體製造業、食品業、醫療、精密工業等皆引入無塵室的應用。然而,就無塵室內的製程而言,微小粒子不僅會造成環境污染,同時會導致產品良率下…