檢索結果:共1筆資料 檢索策略: cdept.raw="自動化及控制研究所" and ckeyword.raw="製程視窗"
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微影製程有兩項重要指標,一能將光罩圖案潛像(Aerial Image)正確的轉移至光阻基材上,二提供足夠製程視窗(Process Window)以供應穩定的製程良率。本研究目的在針對投影式微影系統開…