簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共3筆資料 檢索策略: cdept.raw="自動化及控制研究所" and ckeyword.raw="蒙地卡羅演算法"


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    1

    結合光點位置優化與灰階優化之數位微影曝光能量規劃
    • 自動化及控制研究所 /112/ 碩士
    • 研究生: 顏鈺靜 指導教授: 郭鴻飛
    • 微影製程是半導體領域的關鍵技術,通過光學投影在晶圓上實現微小特徵的線路。透過數位微影製程,不再需要使用實體光罩,而是利用數位微反射鏡等光學元件,直接將線路影像投射至晶圓上,這種製程方式降低了成本,並…
    • 點閱:90下載:0
    • 全文公開日期 2026/07/19 (校內網路)
    • 全文公開日期 2026/07/19 (校外網路)
    • 全文公開日期 2026/07/19 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

    2

    深度數位微影曝光之能量規劃程序設計
    • 自動化及控制研究所 /112/ 碩士
    • 研究生: 謝曉涵 指導教授: 郭鴻飛
    • 微影製程是不斷發展的半導體產業中非常重要技術之一,這項技術利用光學投影將線路結構曝光於晶圓上,製造出微米甚至是奈米等級尺寸之電路。相對於傳統的微影製程,數位微影製程不再需要使用光罩,而是透過各種光學…
    • 點閱:265下載:0
    • 全文公開日期 2026/02/05 (校內網路)
    • 全文公開日期 2026/02/05 (校外網路)
    • 全文公開日期 2026/02/05 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

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    基於蒙地卡羅演算法曝光能量規劃
    • 自動化及控制研究所 /110/ 碩士
    • 研究生: 黃敬勛 指導教授: 郭鴻飛
    • 微影製程是半導體產業不斷前進的重要技術,透過將微縮線路用光學投影在晶圓上,將特徵尺寸不斷縮小,而數位微影製程捨棄了對光罩的使用,能透過如數位微反射鏡(Digital Micromirror Devi…
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