檢索結果:共2筆資料 檢索策略: cdept.raw="機械工程系" and ckeyword.raw="雙外差"
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本研究提出一套「新式雙外差共面偵測光柵干涉儀」,用以進行四自由度精密位移及旋轉角度量測。此套「新式雙外差共面偵測光柵干涉儀」採獨特的自混分頻多工概念進行設計,僅需一組電光調制器及半穿半反射鏡即可形成…
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本研究提出一套創新的雙外差式散斑干涉儀,用以進行精密的位移及旋轉角度量測。此套干涉儀主要是以散斑干涉術做為主要的量測基礎,同時我們依據分頻多工的概念設計了一組「雙電光調制光路」來形成雙外差光源,即干…