檢索結果:共2筆資料 檢索策略: cdept.raw="機械工程系" and ckeyword.raw="自由分子流"
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由於微流道受到粗糙度的影響必定會對質量流率產生錯估,因此我們利用在微流道內建構不同高度的方形陣列結構來模擬表面粗糙度及障礙物。本實驗使用微機電製程技術在矽晶圓上製造出微流道、以氦氣為實驗氣體並在等溫…
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本實驗使用微機電技術製造出微流道系統來探討氣體在流道中的運動行為。本實驗氣體設定為氦氣,氮氣和氬氣,並且使氣體從滑移流區到自由分子流區通過矩形微流道(寬390um,深10.1um,長10000um …