檢索結果:共1筆資料 檢索策略: cdept.raw="機械工程系" and ckeyword.raw="無光罩微影"
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本研究應用浸潤式微影概念於先前實驗室研發設計的顯微鏡式DMD(Digital Micromirror Device)無光罩微影系統(Maskless Photolithography System)…