檢索結果:共1筆資料 檢索策略: cdept.raw="機械工程系" and ckeyword.raw="氧化鋅鋁(AZO)"
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本研究係利用射頻磁控濺鍍,沉積氧化鋅鋁(ZnO:Al/AlZnO,AZO)透明導電膜於玻璃基板,探討不同ZnO緩衝層鍍膜參數(如射頻功率、濺鍍壓力、氧化鋅緩衝層膜厚、退火溫度)對AZO薄膜的結構、表…