簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共3筆資料 檢索策略: cdept.raw="機械工程系" and ckeyword.raw="氧化石墨烯"


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    1

    大面積還原氧化石墨烯薄膜之研究
    • 機械工程系 /103/ 碩士
    • 研究生: 王駿 指導教授: 林舜天
    • 由於石墨烯在各方面的應用上皆表現出驚人的特性,人們對於石墨烯的研究及應用越來越重視,甚至有學者將它稱為能夠改變21世紀之材料。 本研究係使用PVD濺鍍配合高溫氧化及真空高溫處理之製程來製造石墨…
    • 點閱:350下載:0
    • 全文公開日期 2020/02/04 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

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    氧化石墨烯複合式拋光液於單晶碳化矽晶圓之化學機械拋光製程分析研究
    • 機械工程系 /107/ 碩士
    • 研究生: 林妤靜 指導教授: 陳炤彰
    • 單晶碳化矽晶圓(Silicon Carbide, SiC)在高功率元件裡相較於單晶單化矽(Silicon)具有高崩潰電壓高寬能隙、高崩潰電壓及高熱傳導率,然而單晶碳化矽具有高硬度(Mohs 9.2)…
    • 點閱:401下載:1

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    氧化石墨烯複合式拋光液於單晶碳化矽晶圓化學機械拋光之研究
    • 機械工程系 /105/ 碩士
    • 研究生: 黃裕程 指導教授: 陳炤彰
    • 單晶碳化矽晶圓(SiC)為一高崩潰電壓及低阻抗的材料,因此在高功率元件市場上有較大之需求,然而因單晶碳化矽晶圓之高硬度、高抗化學性等性質,使其在製造過程有加工時間繁長及成本高等問題。本研究主要針對單…
    • 點閱:334下載:7
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