檢索結果:共1筆資料 檢索策略: cdept.raw="材料科學與工程系" and ckeyword.raw="銅製層"
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本論文主要是探討以射頻磁控濺鍍(RF magnetron sputterig)之方式所沉積之TiNx阻障層抵抗銅原子擴散的能力。主要是以射頻磁控濺鍍法沉積不同氮含量之TiNx薄膜,進行晶粒大小、結晶…