檢索結果:共1筆資料 檢索策略: cdept.raw="化學工程系" and ckeyword.raw="選擇性沉積"
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本研究旨在研究自組裝分子十八烷基三氯矽烷於矽基板進行選擇性被覆。藉由在大氣中進行十八烷基三氯矽烷的被覆條件測試,最後得出矽基板先以紫外光照射15分鐘進行表面改質後,再於具有十八烷基三氯矽烷分子的甲苯…