檢索結果:共1筆資料 檢索策略: cdept.raw="化學工程系" and ckeyword.raw="矽薄膜磊晶"
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本論文以建構一個具有快速熱處理基材的低壓化學氣相沉積系統,並藉以研究以二氯矽烷為原料來沉積矽磊晶膜的變數效應。本研究以掌握裝置初期試車發生的問題並尋找可能的解決方案為研究目的。實驗過程分別針對紅外線…