檢索結果:共1筆資料 檢索策略: cdept.raw="化學工程系" and ckeyword.raw="氮化鋁"
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本篇論文乃以不同氮源先驅物為原料的冷壁式低壓化學氣相沈積法,探討在不同基材上異質成長氮化鋁薄膜的相關議題。首先,單一分子先驅物三乙基胺•鋁烷(TEAA)的長膜在500oC的高溫下,會成長出以碳化鋁(…