檢索結果:共2筆資料 檢索策略: cdept.raw="化學工程系" and ckeyword.raw="快速熱處理"
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本論文以建構一個具有快速熱處理基材的低壓化學氣相沉積系統,並藉以研究以二氯矽烷為原料來沉積矽磊晶膜的變數效應。本研究以掌握裝置初期試車發生的問題並尋找可能的解決方案為研究目的。實驗過程分別針對紅外線…
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本論文旨在研究以二氯矽烷為前驅物進行化學氣相沉積矽磊晶膜及其選擇性成長之行為。本研究以控制長膜實驗中,包括晶圓載盤之材質與原料反應進而影響薄膜阻抗率的問題,並尋求可能的解決方法。特別以長膜時的總壓、…