檢索結果:共1筆資料 檢索策略: cdept.raw="光電工程研究所" and ckeyword.raw="氟矽玻璃"
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為了改善低溫複晶矽薄膜電晶體電特性與穩定度,本論文以Fluorosilicate glass (FSG)覆蓋在通道層即複晶矽(Poly silicon, poly-si)上,在源極與汲極形成的同時,…