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本研究探討以離子束濺鍍法,沉積摻鉺氧化鋅薄膜(Erbium-doped ZnO, EZO)之特性。我們以層狀方式沉積EZO薄膜,藉退火使鉺與氧化鋅混合。實驗中,成功的以325 nm之He-Cd雷射,…