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本論文成功使用低溫濺鍍磊晶法成長矽薄膜並且應用於太陽電池元件製作,磊晶矽薄膜的部份在製程溫度為220℃與直流電源功率為100 W的條件下可得到最佳的矽膜品質,其有效復合速率(Recombinatio…