檢索結果:共2筆資料 檢索策略: cadvisor.raw="林顯群" and ckeyword.raw="氣體噴注器"
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本研究探討渦流產生器應用於3吋垂直式的半導體廢氣排放管路,藉由CFD軟體Fluent執行流場模擬,將計算結果製作圖表以便觀察其流場缺失;並依動態光散射儀(Dynamic Light Scatteri…
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爐管為半導體產業常使用的製程設備,其良率為重要之技術指標,因此本研究針對垂直式爐管進行流場數值模擬,評估氣體噴注器的流量對於製程良率所產生的影響,藉由晶圓薄膜厚度之實測比對,找出氣體噴注器的出口流量…