檢索結果:共1筆資料 檢索策略: cadvisor.raw="林紀穎" and ckeyword.raw="直線度誤差補償"
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本文主要針對精密定位系統的水平直線度誤差量測與補償探討,提出一套具有高精密定位能力之雙層驅動平台,並結合光學位移量測裝置、相位解調電路及控制系統,以探討長行程驅動平台於定位時產生的直線度誤差補償。此…