檢索結果:共1筆資料 檢索策略: cadvisor.raw="林原慶" and ckeyword.raw="矛盾衝突矩陣表"
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本文主要研究發展一個CMP問題與決策的知識推論系統,用於八吋矽晶圓拋光、層間絕緣層、IC製程平坦化、金屬層和DRAM的拋光製程。系統採用本體論架構建構出相關的知識領域,再轉換成有用的工程資料庫,此資…