檢索結果:共1筆資料 檢索策略: cadvisor.raw="林保宏" and ckeyword.raw="離子束濺鍍"
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摘要 本實驗使用反應式離子束濺鍍法來沉積氧化銦錫薄膜於玻璃基板上,在室溫狀態下,分別透過改變氧氣流量、陽極電壓以及基板與靶材距離,來觀察不同製程參數下薄膜特性的變化。隨著氧氣流量增加,氧氣的低濺…