檢索結果:共2筆資料 檢索策略: cadvisor.raw="張復瑜" and ckeyword.raw="氣體輔助轉印"
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氮化鎵被認為是繼矽之後最重要半導體材料,目前主要是以磊晶的方式成長於藍寶石或碳化矽基板,並已廣泛應用於高功率藍白光LED的量產。將氮化鎵磊晶於矽基板上將是未來的新趨勢,近期並將應用於高電子移動速度電…
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本論文針對複合功能轉印設備開發為主軸,並研究其熱壓轉印、紫外光固化轉印、氣體輔助轉印等製程。所開發之複合功能轉印設備提供一個穩定、高精度、大面積微奈米結構轉印之平台。 熱壓轉印製程中,藉由保壓模具之…