檢索結果:共2筆資料 檢索策略: cadvisor.raw="趙良君" and cadvisor.raw="黃鶯聲"
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本研究以反應式離子束濺鍍沉積摻氮氧化鋅薄膜,以鋅為靶材,同時通入氬氣、氧氣及氮氣,固定氬氣流量,探討氧氣和氮氣流量對摻氮氧化鋅薄膜的特性研究。實驗結果顯示當氧氣流量介於0.5 ~ 2.0 sccm,…
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此研究以反應式離子束濺鍍法於SiO2/Si基版及石英基板上沉積氧化銅/氧化亞銅薄膜,探討氬/氧流量及基板溫度對所沉積氧化銅/氧化亞銅薄膜之影響。研究結果顯示在300℃或400℃所沉積之氧化銅/氧化亞…