檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="TaON氧化層" and ckeyword.raw="共濺鍍" and ckeyword.raw="共濺鍍"
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本論文以濺鍍及共濺鍍沉積的方式製作Cu/Cu-SiO2/TaN,TaN/Cu-SiO2/TaN三層結構,經由電性量測結果可知上述兩種元件皆有電阻切換的性質。電極材料皆為TaN的元件在連續操作100次…