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本論文的研究方向是將無光罩微影技術結合積層製造之光成型加工技術,選用下照式成型系統,設計出能製作大面積微結構的曝光機。相較以往的顯微鏡微影系統,本系統單次曝光面積大,能製作出的微結構數量更多,配合高…