檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="鋅錫摻雜氮化鎵" and ckeyword.raw="電特性" and ckeyword.raw="電特性"
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本論文以RF反應式濺鍍法製備施體-受體共摻雜n型或p型的ZnSnGaN薄膜,並探討不同摻雜比例、濺鍍功率與沉積溫度對於薄膜品質、電性及光學性質之影響。於本實驗中我們利用EDS、SEM、AFM、XRD…