檢索結果:共2筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="有機金屬化學氣相沉積法" and ckeyword.raw="氧化釕" and ckeyword.raw="氧化釕"
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本論文主要利用化學氣相沉積方式合成氧化銥/氧化釕奈米桿為感測材料在石英感測晶片上的金電極進行沉積,用XRD與FESEM分析氧化銥/氧化釕的薄膜表面結構。其次以QCM 質量式感測器針對有機揮發化合物(…
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使用[(CH3CH2)C5H4]2Ru當前驅物,於冷壁式有機金屬化學氣相沉積系統中成長二氧化釕奈米結構,其沉積在不同平面之基板上有不同的成長方向。使用場發射掃描式電子顯微鏡、X光繞射譜線,對二氧化釕…