檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="有機金屬化學氣相沉積法" and ckeyword.raw="氣體感測器" and ckeyword.raw="氧化釕"
個人化服務 :
排序:
每頁筆數:
已勾選0筆資料
1
本論文主要利用化學氣相沉積方式合成氧化銥/氧化釕奈米桿為感測材料在石英感測晶片上的金電極進行沉積,用XRD與FESEM分析氧化銥/氧化釕的薄膜表面結構。其次以QCM 質量式感測器針對有機揮發化合物(…