檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="多群" and ckeyword.raw="多群" and ckeyword.raw="解析度增強技術"
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近年對於晶片的需求大幅增長,而其電路設計圖案依賴於微影技術將其轉印至矽基板上,並且隨著關鍵尺寸(Critical Dimension)的日漸微縮、單位面積下所容納的電路圖案增多以及晶片尺寸增大的趨勢…