檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw=" 低溫多晶矽" and ckeyword.raw=" 橫向長晶法" and ckeyword.raw=" 準分子雷射熱處理加工"
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準分子雷射重熔矽膜是目前加工低溫多晶矽最常見的手法,但在狹小的製程窗口下其複雜的結晶機制,往往難以控制。大多數的製程參數設定都是以試誤法的方式來進行調整。但是在試誤過程中所耗費的人力、資源及時間難以…